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中微公司重磅發(fā)布六大半導(dǎo)體設(shè)備新產(chǎn)品

中微公司重磅發(fā)布六大半導(dǎo)體設(shè)備新產(chǎn)品

在第十三屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件及材料展（CSEAC 2025）上，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱 “中微公司”，股票代碼：688012.SH）宣布重磅推出六款半導(dǎo)體設(shè)備新產(chǎn)品。這些設(shè)備覆蓋等離子體刻蝕（Etch）、原子層沉積（ALD）及外延（EPI）等關(guān)鍵工藝，不僅充分彰顯了中微公司在... （來源：新聞頻道）

中微公司半導(dǎo)體設(shè)備 2025-9-5 10:02

降低半導(dǎo)體金屬線電阻的沉積和刻蝕技術(shù)

降低半導(dǎo)體金屬線電阻的沉積和刻蝕技術(shù)

摘要：使用SEMulator3D®可視性沉積和刻蝕功能研究金屬線制造工藝，實(shí)現(xiàn)電阻的大幅降低封面圖：正文：作者：泛林集團(tuán) Semiverse Solutions 部門軟件應(yīng)用工程師 Timothy Yang 博士01 介紹銅的電阻率由其晶體結(jié)構(gòu)、空隙體積、晶界和材料界面失配決定，并隨尺寸縮小而顯著提升。通常，銅線的制作流程是... （來源：技術(shù)文章頻道）

半導(dǎo)體金屬線電阻沉積和刻蝕技術(shù) 2024-8-15 15:49

泛林集團(tuán)推出全球首個晶圓邊緣沉積解決方案以提高芯片良率

泛林集團(tuán)推出全球首個晶圓邊緣沉積解決方案以提高芯片良率

Coronus® DX 建立在泛林集團(tuán) 15 年來在晶圓邊緣解決方案的創(chuàng)新之上近日，泛林集團(tuán) (Nasdaq: LRCX) 推出了Coronus DX產(chǎn)品，這是業(yè)界首個晶圓邊緣沉積解決方案，旨在更好地應(yīng)對下一代邏輯、3D NAND和先進(jìn)封裝應(yīng)用中的關(guān)鍵制造挑戰(zhàn)。隨著半導(dǎo)體芯片關(guān)鍵尺寸的不斷縮小，其制造變得越來越復(fù)雜，在硅晶圓... （來源：新聞頻道）

泛林集團(tuán)晶圓邊緣沉積解決方案3D NAND 制造 2023-6-29 10:41

3D時代值得關(guān)注的趨勢

3D時代值得關(guān)注的趨勢

作者：泛林集團(tuán)公司副總裁兼電介質(zhì)原子層沉積產(chǎn)品總經(jīng)理 Aaron Fellis隨著電子設(shè)備精密化，人們愈發(fā)要求半導(dǎo)體技術(shù)能以更低的成本實(shí)現(xiàn)更優(yōu)的性能和更大的容量。這些趨勢推動了半導(dǎo)體技術(shù)的重大進(jìn)步，在過去十年中2D NAND逐漸過渡到3D NAND。邏輯領(lǐng)域的3D過渡也已經(jīng)開始，F(xiàn)inFET（鰭式場效應(yīng)晶體管）技術(shù)... （來源：技術(shù)文章頻道）

3D NAND GAA晶體管存儲器 (DRAM) 2023-6-2 13:30

半導(dǎo)體前端工藝：第四篇：刻蝕——有選擇性地刻蝕材料，以創(chuàng)建所需圖形

半導(dǎo)體前端工藝：第四篇：刻蝕——有選擇性地刻蝕材料，以創(chuàng)建所需圖形

光“堆疊”可不行在半導(dǎo)體前端工藝第三篇中，我們了解了如何制作“餅干模具”。本期，我們就來講講如何采用這個“餅干模具”印出我們想要的“餅干”。這一步驟的重點(diǎn)，在于如何移除不需要的材料，即“刻蝕（Etching）工藝”。圖1: 移除餅干中間部分，再倒入巧克力糖漿讓我們再來回想一下上一篇內(nèi)容... （來源：技術(shù)文章頻道）

刻蝕材料半導(dǎo)體 2023-3-3 15:19

泛林集團(tuán)推出開創(chuàng)性的選擇性刻蝕設(shè)備組合，以加速芯片制造商的 3D 路線圖

泛林集團(tuán)推出開創(chuàng)性的選擇性刻蝕設(shè)備組合，以加速芯片制造商的 3D 路線圖

泛林集團(tuán) (NASDAQ: LRCX) 宣布推出一系列新的選擇性刻蝕產(chǎn)品，這些產(chǎn)品應(yīng)用突破性的晶圓制造技術(shù)和創(chuàng)新的化學(xué)成分，以支持芯片制造商開發(fā)環(huán)柵 (GAA) 晶體管結(jié)構(gòu)。泛林集團(tuán)的選擇性刻蝕產(chǎn)品組合包含三款新產(chǎn)品——Argos®、Prevos™ 和 Selis®，為先進(jìn)邏輯和存儲器半導(dǎo)體解決方案的設(shè)計(jì)和制... （來源：新品頻道）

泛林集團(tuán)刻蝕設(shè)備 2022-2-10 10:27

智能刻蝕帶來突破性的生產(chǎn)力提升

智能刻蝕帶來突破性的生產(chǎn)力提升

摘要：Sense.i為刻蝕技術(shù)的未來設(shè)定步伐作者：泛林集團(tuán) 高級副總裁兼刻蝕事業(yè)部總經(jīng)理 Vahid Vahedi增加電路密度而不必移動到新技術(shù)節(jié)點(diǎn)的優(yōu)勢使得垂直擴(kuò)展成為半導(dǎo)體行業(yè)的強(qiáng)大驅(qū)動力。但它也有一系列挑戰(zhàn)，其中關(guān)鍵的挑戰(zhàn)便是刻蝕能力。隨著晶圓廠已經(jīng)在制造超過90層的NAND器件，他們需要50:1或更... （來源：技術(shù)文章頻道）

智能刻蝕晶圓刻蝕技術(shù) 2022-1-24 13:40

高深寬比刻蝕和納米級圖形化推進(jìn)存儲器的路線圖

高深寬比刻蝕和納米級圖形化推進(jìn)存儲器的路線圖

作者：泛林集團(tuán) 先進(jìn)技術(shù)發(fā)展事業(yè)部公司副總裁潘陽博士、先進(jìn)技術(shù)發(fā)展事業(yè)部 / CTO辦公室研究員 Samantha Tan 和全球產(chǎn)品事業(yè)部副總裁 Richard Wise隨著市場需求推動存儲器技術(shù)向更高密度、更優(yōu)性能、新材料、3D堆棧、高深寬比 (HAR) 刻蝕和極紫外 (EUV) 光刻發(fā)展，泛林集團(tuán)正在探索未來三到五年生產(chǎn)可... （來源：技術(shù)文章頻道）

存儲器技術(shù) 3D NAND閃存硬掩膜沉積 2022-1-10 14:28

泛林集團(tuán)發(fā)布Syndion GP，滿足芯片制造商對先進(jìn)功率器件的需求

泛林集團(tuán)發(fā)布Syndion GP，滿足芯片制造商對先進(jìn)功率器件的需求

北京時間2021年12月8日，泛林集團(tuán)（納斯達(dá)克股票代碼：LRCX）在加利福尼亞州弗里蒙特市發(fā)布新產(chǎn)品Syndion® GP，為芯片制造商提供深硅刻蝕技術(shù)，以開發(fā)新一代用于汽車、電力傳輸和能源行業(yè)的功率器件及電源管理集成電路。隨著上述領(lǐng)域的技術(shù)日趨先進(jìn)，對芯片更高功率、更優(yōu)性能和更大容量的需... （來源：新聞頻道）

泛林集團(tuán)Syndion GP功率器件 2021-12-9 10:42

中國芯片刻蝕機(jī)第一人：77 歲尹志堯 12 句話說透芯片制造

中國芯片刻蝕機(jī)第一人：77 歲尹志堯 12 句話說透芯片制造

上周二，新一期楊瀾訪談錄節(jié)目《逐風(fēng)者》專訪我國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的重要領(lǐng)軍人物之一 —— 尹志堯。尹志堯現(xiàn)年 77 歲，在技術(shù)及產(chǎn)品的開發(fā)中獲得過 400 多項(xiàng)各國專利，被評價(jià)為“硅谷最有成就的華人之一”。至今，全世界超過一半的刻蝕設(shè)備都有他參與領(lǐng)導(dǎo)和開發(fā)的身影。從硅谷歸國的他，人生經(jīng)歷頗有... （來源：新聞頻道）

芯片刻蝕機(jī)尹志堯芯片制造 2021-4-27 10:05

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