在前幾篇文章中,我們詳細講解了氧化、光刻、刻蝕、沉積等工藝。經過上述工藝,晶圓表面會形成各種半導體元件。SK海力士等半導體制造商會讓晶圓表面布滿晶體管和電容(Capacitor)1;而代工廠或CPU制造商則會讓晶圓底部排列鰭式場效電晶體(FinFET)2等三維晶體管。1電容(Capacitor):蓄電池等儲存電... (來源:技術文章頻道)
半導體前端工藝 光刻設備 晶體管 電容 2023-3-30 10:16
繪制精細電路的第一步金屬-氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)的革命,讓我們可以在相同面積的晶圓上同時制造出更多晶體管。MOSFET體積越小,單個 MOSFET的耗電量就越少,還可以制造出更多的晶體管,讓其發揮作用,可謂是一舉多得。可見,制造更小的MOSFET成了關鍵因素,并且想制成微細的電路,第一步... (來源:技術文章頻道)
半導體 光刻 2023-1-12 15:24
光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。在整個芯片制造工藝中,幾乎每個工藝的實施,都離不開光刻的技術。光刻也是制造芯片的最關鍵技術,他占芯片制造成本的35%以上。在如今的科技與社會發展中,光刻技術的增長,直接關系到大型計算機的運作等高科技領域。 光刻技術... (來源:技術文章頻道)
芯片 光刻技術 EUV技術 2021-1-27 13:32