2025年11月25日,上海芯上微裝科技股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“AMIES”或“芯上微裝”)宣布,公司自主研發(fā)的首臺(tái)350nm步進(jìn)光刻機(jī)(AST6200 )正式完成出廠調(diào)試與驗(yàn)收,啟程發(fā)往客戶現(xiàn)場(chǎng)。 芯上微裝表示,這標(biāo)志著我國(guó)在高端半導(dǎo)體光刻設(shè)備領(lǐng)域再次實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵突破!這不僅是一次產(chǎn)品... (來(lái)源:新聞?lì)l道)
芯上微裝350nm步進(jìn)光刻機(jī) 2025-11-26 13:06
日前,上海芯上微裝科技股份有限公司(簡(jiǎn)稱“芯上微裝”)宣布,其第500臺(tái)步進(jìn)光刻機(jī)成功交付,標(biāo)志著我國(guó)高端半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)邁入新階段。 據(jù)了解,先進(jìn)封裝光刻機(jī)是芯上微裝的核心產(chǎn)品,具備高分辨率、高套刻精度、超大曝光視場(chǎng)等特點(diǎn),還擁有強(qiáng)大的翹曲和厚膠處理能力,可根據(jù)客戶具體工... (來(lái)源:新聞?lì)l道)
上海芯上微光刻機(jī) 2025-8-11 11:03