2025年11月25日，上海芯上微裝科技股份有限公司（以下簡稱“AMIES”或“芯上微裝”）宣布，公司自主研發的首臺350nm步進光刻機（AST6200 ）正式完成出廠調試與驗收，啟程發往客戶現場。 芯上微裝表示，這標志著我國在高端半導體光刻設備領域再次實現關鍵突破！這不僅是一次產品... （來源：新聞頻道）
芯上微裝350nm步進光刻機 2025-11-26 13:06
日前，上海芯上微裝科技股份有限公司（簡稱“芯上微裝”）宣布，其第500臺步進光刻機成功交付，標志著我國高端半導體裝備產業邁入新階段。 據了解，先進封裝光刻機是芯上微裝的核心產品，具備高分辨率、高套刻精度、超大曝光視場等特點，還擁有強大的翹曲和厚膠處理能力，可根據客戶具體工... （來源：新聞頻道）
上海芯上微光刻機 2025-8-11 11:03
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