在美國西部半導體展覽會前,KLTencor 公司(納斯達克股票代碼:KLAC)今天為前沿集成電路制造推出了六套先進的缺陷檢測與檢查系統:3900 系列(以前A-稱為第 5 代)和 2930 系列寬波段等離子光學檢測儀、Puma™ 9980 激光掃描檢測儀、CIRCL™5 全表面檢測套件、Surfscan® SP5XP 無缺陷檢... (來源:新品頻道)
KLA-Tencor晶圓檢查系列產品 2016-7-12 16:21