KLA-Tencor公司(納斯達克股票代碼:KLAC)今天針對10納米以下(sub-10nm)集成電路(IC)器件的開發和批量生產推出四款創新的量測系統:Archer™600疊對量測系統,WaferSight™PWG2圖案晶片幾何特征測量系統,SpectraShape™ 10K光學關鍵尺寸(CD)量測系統和SensArray®HighTemp 4... (來源:新品頻道)
KLA-TencorArcher600WaferSightPWG2SpectraShape 10KSensArrayHighTemp 4mm 2017-3-20 14:18