KLA-Tencor Corporation推出兩款先進的量測系統,可支持 16 納米及以下尺寸集成電路器件的開發和生產:Archer™ 500LCM 和 SpectraFilm™ LD10。Archer 500LCM 套刻測量系統在提升成品率的所有階段提供了準確的套刻誤差反饋,可幫助芯片制造商解決新的圖型套刻問題,例如多層光刻和隔離層掩膜... (來源:新品頻道)
KLA-Tencor CorporationArcher 500LCMSpectraFilm LD10 2015-3-5 11:16