吞吐量仍然是一個問題,解決方案需要多種技術的結合。 事實證明,電子束檢測對于發現 5 納米以下尺寸的關鍵缺陷至關重要。現在的挑戰是如何加快這一流程,使其在經濟上符合晶圓廠的接受度。 電子束檢測因靈敏度和吞吐量之間的權衡而臭名昭著,這使得在這些先進節點上利用電子束進行全面缺陷覆蓋尤... (來源:技術文章頻道)
電子束 2025-5-14 09:49