MEMS 的全稱是微型電子機械系統,利用傳統的半導體工藝和材料,集微傳感器、微執行器、微機械機構、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統。具有小體積、低成本、集成化等特點。 MEMS傳感器的主要種類MEMS傳感器種類繁多,主要的MEMS傳感器包括運動傳... (來源:技術文章頻道)
MEMS運動傳感器微機械機構 2021-2-4 09:24