光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。在整個(gè)芯片制造工藝中,幾乎每個(gè)工藝的實(shí)施,都離不開光刻的技術(shù)。光刻也是制造芯片的最關(guān)鍵技術(shù),他占芯片制造成本的35%以上。在如今的科技與社會(huì)發(fā)展中,光刻技術(shù)的增長(zhǎng),直接關(guān)系到大型計(jì)算機(jī)的運(yùn)作等高科技領(lǐng)域。 光刻技術(shù)... (來源:技術(shù)文章頻道)
芯片 光刻技術(shù) EUV技術(shù) 2021-1-27 13:32